臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應(yīng)有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應(yīng)，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應(yīng)，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧能氧化分解細(xì)菌、病毒內(nèi)部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，氧化并穿透其細(xì)胞壁，破壞其細(xì)胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類(lèi)和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌、病毒的新陳代謝和繁殖過(guò)程遭到破壞，而奪取細(xì)菌病毒的生命。同時(shí)還可以滲透細(xì)胞膜組織、侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透性畸變，導(dǎo)致細(xì)胞溶解性死亡，并將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱源（內(nèi)毒素）等溶解死亡。綜觀(guān)無(wú)菌技術(shù)對(duì)微生物作用的原理可分為型、殺菌和溶菌型三種。臭氧滅菌消毒屬于溶菌型劑體，可以達(dá)到“、地消滅物體內(nèi)部所有微生物的目的”，不僅這樣而且它的作用是瞬間完成的。

使用范圍：
　　1．公共場(chǎng)所：檔案管、圖書(shū)館、賓館、飯店、美容美發(fā)管、娛樂(lè)場(chǎng)所、廁所及企事業(yè)單位和家庭的室內(nèi)消毒凈化空氣等，對(duì)檔案、圖書(shū)、文件、工具等用品有消毒滅菌的功效。
　　2．醫(yī)院、制藥廠(chǎng)：更衣室、實(shí)驗(yàn)室、手術(shù)室、病房、制劑室、手術(shù)器械、隔離衣、無(wú)菌車(chē)間等場(chǎng)所的消毒菌。是藥廠(chǎng)、保健食品廠(chǎng)、醫(yī)院進(jìn)行GMP標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，消毒除菌，凈化空氣的得力幫手。
　　3．食品飲料業(yè)：車(chē)間、無(wú)菌室、更衣室、庫(kù)房及生產(chǎn)器具等消毒殺菌，是廣大食品廠(chǎng)進(jìn)行HACCP標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)，凈化空氣，殺菌消毒的有力保障。
　　4．養(yǎng)殖業(yè)：室內(nèi)養(yǎng)雞、動(dòng)物飼養(yǎng)、無(wú)菌接種、栽培等除臭消毒、殺菌凈化空氣。
　　5．庫(kù)房：糧食、禽蛋、中草藥、水果、蔬菜、肉制品、水產(chǎn)品等空氣消毒、防腐保鮮。
　　6．其它：各行業(yè)凡是室內(nèi)空氣需要消毒殺菌，消除異昧防霉保鮮的均可用臭氧消毒殺菌機(jī)處理。

按發(fā)生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（400-1000Hz）和高頻（>1000Hz）三種。工頻發(fā)生器由于體積大、功耗高等缺點(diǎn)，已基本退出市場(chǎng)。中、高頻發(fā)生器具有體積小、功耗低、臭氧產(chǎn)量大等優(yōu)點(diǎn)，是現(xiàn)在常用的產(chǎn)品。