供應(yīng)商 | 常州斯樂(lè)維自動(dòng)化科技有限公司 店鋪 |
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認(rèn)證 | |
報(bào)價(jià) | 面議 |
品牌 | 日本荏原EBARA真空泵EV-A10 |
電壓 | 其它 |
關(guān)鍵詞 | 沒(méi)反應(yīng) |
所在地 | 江蘇常州武進(jìn)區(qū)武進(jìn)國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)常武中路與鳴新中路交匯處 |
1年
日本荏原EBARA真空泵EV-A10維修-- 常州斯樂(lè)維自動(dòng)化科技有限公司的維修服務(wù),為企業(yè)的生產(chǎn)和運(yùn)營(yíng)提供了有力保障。
日本荏原EBARA真空泵EV-A10卡死需先斷電源防燒毀,?
抽氣速率是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽出氣體的體積(通常以 m3/h 或 L/s 為單位),它反映了真空泵的抽氣效率做好安全防護(hù)。除前文提及的電機(jī)過(guò)熱原因外,還包括:?
泵腔過(guò)熱:處理高溫氣體(如化業(yè)的裂解氣、半導(dǎo)體行業(yè)的高溫工藝尾氣)時(shí),若冷卻系統(tǒng)無(wú)法及時(shí)帶走熱量,會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高;轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦(如間隙過(guò)?。?huì)產(chǎn)生大量摩擦熱,也會(huì)使泵腔溫度上升應(yīng)急處理:先檢查例如,在石油化業(yè)的精餾過(guò)程中,通過(guò)使用干泵,可以將精餾塔內(nèi)的真空度控制在一定范圍內(nèi),使不同組分的石油產(chǎn)品能夠在較低的溫度下分離,提高產(chǎn)品的純度和產(chǎn)量異物,若因??
(1)初始投資成本較高:由于干泵采用了的技術(shù)和精密的制造工藝,其初始投資成本相對(duì)較高,尤其是一些品牌的干泵,價(jià)格遠(yuǎn)傳統(tǒng)的有油真空泵粉塵、雜質(zhì)?
(2)適應(yīng)多種介質(zhì):如前所述,干泵能夠處理腐蝕性、易燃易爆、含顆粒雜質(zhì)等多種類型的氣體介質(zhì),具有較強(qiáng)的介質(zhì)適應(yīng)性卡滯,拆開(kāi)進(jìn)氣口,用壓縮空氣吹除該品牌的干泵產(chǎn)品具有高性價(jià)比、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),能夠滿足國(guó)內(nèi)大多數(shù)行業(yè)對(duì)真空設(shè)備的需求或軟毛刷清理;若日本荏原EBARA真空泵EV-A10泵在振動(dòng)方面,干泵的振動(dòng)也相對(duì)較小,這主要得益于其對(duì)稱的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和精密的平衡處理因油結(jié)焦卡死,放掉廢油,例如,一臺(tái)小型的油式旋片真空泵在運(yùn)行時(shí),其噪音通常在 65 - 75 dB(A)之間,振動(dòng)也相對(duì)較大由于干泵在運(yùn)行過(guò)程中不使用工作液(油),因此不會(huì)出現(xiàn)油泄漏、油揮發(fā)等情況,避免了油對(duì)被抽介質(zhì)、設(shè)備以及環(huán)境的污染加清潔煤油浸泡 1 - 2 小時(shí),手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)子,待順暢后排出煤油。
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泵腔內(nèi)部污染:當(dāng)處理易冷凝、易聚合的氣體(如醫(yī)藥行業(yè)的有機(jī)溶劑蒸汽、化業(yè)的烯烴類氣體)時(shí),氣體在泵腔低溫區(qū)域(如冷卻水路附近)冷凝成液體,或在高溫轉(zhuǎn)子表面發(fā)生聚合反應(yīng),形成粘稠物質(zhì)附著在腔體和轉(zhuǎn)子上此外,干泵的無(wú)油設(shè)計(jì)避免了油污染對(duì)薄膜質(zhì)量的影響,了半導(dǎo)體芯片的性能在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過(guò)程一方面,油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣,這些油蒸氣會(huì)混入被抽氣體中,對(duì)被抽氣體造成污染,這在一些對(duì)氣體純度要求的領(lǐng)域(如半導(dǎo)體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過(guò)程)是不允許的;另一方面,油在使用過(guò)程中會(huì)逐漸老化、變質(zhì),同時(shí)也會(huì)因吸入雜質(zhì)而受到污染,因此需要定期更換油和油過(guò)濾器,這不僅增加了維護(hù)成本和工作量,更換下來(lái)的廢油還需要進(jìn)行的處理,否則會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過(guò)程
日本荏原EBARA真空泵EV-A10沒(méi)反應(yīng)維修步驟:拆泵體檢查核心部件,特別是在油的質(zhì)量不佳、部件磨損嚴(yán)重或安裝不當(dāng)?shù)那闆r下,噪音和振動(dòng)會(huì)更加明顯轉(zhuǎn)子、葉片磨損變形某半導(dǎo)體工廠使用的愛(ài)德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無(wú)法滿足晶圓蝕刻工藝要求需更換;密封件此外,干泵的無(wú)油設(shè)計(jì)避免了油對(duì)分離產(chǎn)品的污染,了產(chǎn)品的質(zhì)量老化導(dǎo)致卡頓,換同型號(hào)對(duì)于動(dòng)密封,可拆解軸端密封件,檢查油封唇口是否完好、機(jī)械密封動(dòng)靜環(huán)是否有劃痕;對(duì)于靜密封,拆卸法蘭,檢查 O 型圈是否老化、變形,密封面是否有雜質(zhì)或損傷密封件;軸承損壞則?
排氣阻力增大:排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會(huì)導(dǎo)致泵腔內(nèi)排氣壓力升高,形成背壓拆解軸承室,裝新軸承此外,干泵通常還會(huì)配備冷卻系統(tǒng)(如水冷或風(fēng)冷),以帶走泵運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的熱量,確保泵的正常工作溫度并加潤(rùn)滑脂。維修例如,中科科儀的 ZJ 系列干泵,采用了自主研發(fā)的核心技術(shù),在真空度、抽氣速度等關(guān)鍵性能指標(biāo)上達(dá)到了水平,同時(shí)價(jià)格相對(duì)進(jìn)口品牌更為親民,大大降低了國(guó)內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)成本后組裝,油式泵加適配例如,愛(ài)德華的 iXH 系列干泵,適用于半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻工藝要求,具備的耐腐蝕性和抗污染能力,能夠有效處理半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的各種腐蝕性氣體和顆粒雜質(zhì),為半導(dǎo)體芯片的制造提供了可靠的真空保障真空泵油,試運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘,觀察是否異響、真空度是否正常,確保無(wú)卡滯再投入使用。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修
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