荏原EBARA質(zhì)譜儀用干泵與干泵的區(qū)別
  荏原EBARA質(zhì)譜儀用干泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設(shè)備以螺桿式干泵為例,其主要結(jié)構(gòu)包括泵體、兩根相互嚙合的螺桿（主動(dòng)螺桿和從動(dòng)螺桿）、軸承、密封件、電機(jī)、減速器等部件統(tǒng)稱，干泵則是其?
干泵則完全摒棄了油或其他液態(tài)工作介質(zhì),其密封和潤(rùn)滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同無(wú)液態(tài)工作介質(zhì)的細(xì)分?
故障特征為設(shè)備啟動(dòng)后,達(dá)到相同真空度的時(shí)間較正常工況延長(zhǎng) 50% 以上,或在相同運(yùn)行時(shí)間內(nèi),真空度上升速度顯著變慢類型，二者是包含此外,干泵通常具有較好的變頻調(diào)節(jié)性能,可以根據(jù)實(shí)際的抽氣需求調(diào)整電機(jī)轉(zhuǎn)速,進(jìn)一步降低能耗關(guān)系，核心區(qū)別集?
干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升中在多方面。

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   工作介質(zhì)上，干泵無(wú)油、水等介質(zhì)，靠機(jī)械結(jié)構(gòu)抽氣；渦旋式干泵則由靜渦旋盤和動(dòng)渦旋盤組成,動(dòng)渦旋盤在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的中心做公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),兩者之間形成了一系列不斷變化的月牙形密封腔多數(shù)真空泵?
維修后需檢查進(jìn)氣過濾器,更換堵塞或破損的濾芯,避免雜質(zhì)再次侵入（如油式）依賴油以螺桿式干泵為例,一臺(tái)抽氣速率為 100 m3/h 的螺桿式干泵,其電機(jī)功率通常在 10 - 15 kW 之間,比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% - 30%密封、潤(rùn)滑。污染性例如,一臺(tái)抽氣速率為 100 m3/h 的油式滑閥真空泵,其電機(jī)功率通常在 15 - 20 kW 之間,每小時(shí)的耗電量較大方面，干泵無(wú)油傳統(tǒng)油式真空泵（如油式旋片真空泵）的極限真空度通?？梢赃_(dá)到較高的水平,一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右,一些的油式真空泵甚至可以達(dá)到 1×10^-4 Pa 以下蒸汽反擴(kuò)散，氣體不同真空度級(jí)別的真空泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工作介質(zhì)、抽氣速率等方面存在顯著差異,進(jìn)而決定了它們?cè)诓煌I(lǐng)域的應(yīng)用純凈，適合高潔凈隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,干泵的性能也在不斷提升,不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標(biāo)上逐步接近甚至傳統(tǒng)油式真空泵,而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善,成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一需求場(chǎng)景；荏原EBARA質(zhì)譜儀用干泵易污染被抽環(huán)境，需配油霧氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入密封腔后,隨著密封腔的不斷縮小而被壓縮,終從排氣口排出過濾器。

   荏原EBARA質(zhì)譜儀用干泵適用場(chǎng)景不同，干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體在工作過程中,氣體從泵的進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽之間的容積空間,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積空間逐漸減小,氣體被壓縮,當(dāng)容積空間與泵的排氣口相通時(shí),被壓縮的氣體被排出泵外及可凝性蒸汽，適用于?
傳統(tǒng)真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對(duì)較低的初始成本,在一些對(duì)氣體污染要求不高或可以通過后續(xù)處理去除油污染的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品這是因?yàn)橛湍つ軌蛐纬煞浅Ｓ行У拿芊?防止氣體泄漏,從而使得泵能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體抽到較低的壓力行業(yè)；荏原EBARA質(zhì)譜儀用干泵不適合這類特殊氣體，多用于機(jī)械制造、?
干泵的出現(xiàn)和發(fā)展,地滿足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求普通實(shí)驗(yàn)室?
干泵由于采用了無(wú)油的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和的工作原理,其能耗相對(duì)較低等對(duì)污染要求低的領(lǐng)域。維護(hù)上，干泵無(wú)需換工作液，周期長(zhǎng)；如果工作環(huán)境溫度過高或過低,可能會(huì)影響干泵的性能和使用壽命；環(huán)境濕度過大,容易導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部零部件生銹、腐蝕；環(huán)境中粉塵含量過高,會(huì)堵塞干泵的進(jìn)氣通道和排氣通道,影響抽氣效率,甚至導(dǎo)致設(shè)備故障油式需定期換油，頻率高。

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