廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設備維護：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。
直接資源化利用
作為新材料原料：
廢渣中的 TiN 粉末可添加到陶瓷刀具原料中，提高耐磨性；
金屬粉末經(jīng)壓制 - 燒結(jié)后，制成靶材再生料（成本比新靶材低 40%）；
建筑材料添加物：固化穩(wěn)定化后作為混凝土添加劑（需確保重金屬浸出濃度＜GB 5085.6 標準）。
電鍍廢渣中含有大量的重金屬和有機物，例如鉻、鎳、銅等。這些物質(zhì)在處理過程中容易溶解，進入水源和土壤中，對生態(tài)環(huán)境造成嚴重的污染。特別是在排放到水體中后，這些有害物質(zhì)會對水生生物產(chǎn)生毒性影響，破壞水生態(tài)系統(tǒng)的平衡。
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