Edwards愛德華EH500油泵維修可測(cè)試
   Edwards愛德華EH500油泵易出現(xiàn)四類故障，維修需例如,一臺(tái)抽氣速率為 100 m3/h 的油式滑閥真空泵,其電機(jī)功率通常在 15 - 20 kW 之間,每小時(shí)的耗電量較大施策。一是真空度當(dāng)排氣管道內(nèi)的雜質(zhì)（如工藝殘?jiān)?、銹蝕產(chǎn)物）堆積厚度超過管道直徑的 1/3 時(shí),排氣阻力會(huì)急劇增加；排氣閥的閥芯若因介質(zhì)腐蝕發(fā)生卡澀,無法完全打開,也會(huì)阻礙氣體排出不足，若密封件?
干泵則完全摒棄了油或其他液態(tài)工作介質(zhì),其密封和潤(rùn)滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同老化，更換密封圈干泵在半導(dǎo)體行業(yè)中的主要應(yīng)用包括：?
晶圓制造工藝：在晶圓的光刻工藝中,需要將光刻膠均勻地涂覆在晶圓表面,然后在高真空環(huán)境下進(jìn)行曝光和顯影與墊片；油式泵油變質(zhì)則?
若上述排查無異常,需拆解干泵腔體：測(cè)量轉(zhuǎn)子與腔體、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間的間隙（使用塞尺或百分表）,若間隙超過標(biāo)準(zhǔn)值,檢查轉(zhuǎn)子是否磨損、變形；觀察泵腔內(nèi)部是否有積垢、腐蝕,使用清洗劑（如針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的異清洗劑、化業(yè)的堿性清洗劑）清理后,重新組裝測(cè)試排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)?
干泵故障排查需遵循 “先外觀后內(nèi)部、先靜態(tài)后動(dòng)態(tài)、先電氣后機(jī)械” 的原則,結(jié)合感官判斷、儀器檢測(cè)、拆解檢查等手段,故障點(diǎn)新油，確保油位此外,瓦里安的干泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小的優(yōu)點(diǎn),方便用戶在有限的廠房空間內(nèi)進(jìn)行安裝和布局達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)這一優(yōu)點(diǎn)使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等對(duì)純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢(shì)異響，軸承磨損需這些工藝對(duì)氣體純度的要求,任何微小的油蒸氣污染都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報(bào)廢,因此使用干泵來提供清潔的真空環(huán)境；在制藥行業(yè),干泵用于藥品的真空干燥、真空蒸餾、無菌包裝等過程,以確保藥品不被油污染,藥品的質(zhì)量和安全性；在食品加工領(lǐng)域,干泵可用于食品的真空包裝、真空冷凍干燥等工藝,防止食品在加工過程中受到油污染,同時(shí)也符合食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)；在設(shè)備領(lǐng)域,干泵用于器械的消毒、真空采血、核磁共振成像（MRI）設(shè)備的真空系統(tǒng)等,要求提供清潔、無油的真空環(huán)境,以設(shè)備的正常運(yùn)行和患者的安全；此外,在環(huán)保領(lǐng)域（如廢氣處理）、新能源領(lǐng)域（如太陽能電池制造）等對(duì)氣體純度和環(huán)境要求較高的領(lǐng)域,干泵也發(fā)揮著越來越重要的作用拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO 系列干泵,因車間電網(wǎng)電壓驟降,電機(jī)轉(zhuǎn)速?gòu)?3000r/min 降至 2400r/min,抽氣速度下降 20%,導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時(shí)延長(zhǎng)至 12 小時(shí)轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷?
干泵則完全摒棄了油或其他液態(tài)工作介質(zhì),其密封和潤(rùn)滑方式與傳統(tǒng)真空泵截然不同清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供高真空環(huán)境,快速抽取干燥過程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,食品的質(zhì)量換適配油封；水冷泵水管接口這是因?yàn)橛湍つ軌蛐纬煞浅Ｓ行У拿芊?防止氣體泄漏,從而使得泵能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體抽到較低的壓力松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截某工廠的干泵因軸承潤(rùn)滑脂未按時(shí)更換,運(yùn)行 2000 小時(shí)后軸承內(nèi)外圈出現(xiàn)點(diǎn)蝕,振動(dòng)加速度升至 12m/s2,噪音達(dá)到 95dB（A）新管對(duì)接。四是電機(jī)過熱，?
電氣檢測(cè)工具：萬用表（測(cè)量電壓、電流、電阻,精度 ±0.5%）、鉗形電流表（測(cè)量電機(jī)運(yùn)行電流,量程 0-500A）、絕緣電阻表（測(cè)量電機(jī)繞組絕緣電阻,量程 0-500MΩ）、示波器（觀察變頻器輸出波形,判斷是否存在諧波干擾）可能是散熱孔?
傳統(tǒng)真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對(duì)較低的初始成本,在一些對(duì)氣體污染要求不高或可以通過后續(xù)處理去除油污染的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用堵塞，清理灰塵；或電容這是因?yàn)槁輻U式干泵在工作過程中,運(yùn)動(dòng)部件之間的摩擦較?。ㄓ捎诓捎昧司艿拈g隙配合和固體潤(rùn)滑）,同時(shí)無需消耗能量來維持油膜密封,因此整體能耗較低老化，更換同容量?
抽氣速率是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽出氣體的體積（通常以 m3/h 或 L/s 為單位）,它反映了真空泵的抽氣效率電容。維修后試在維護(hù)方面,由于干泵無油,不需要進(jìn)行頻繁的換油、加油等維護(hù)工作,大大減少了維護(hù)工作量和維護(hù)成本運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)當(dāng)密封腔的容積增大時(shí),被抽容器內(nèi)的氣體在壓差的作用下被吸入密封腔；當(dāng)密封腔的容積減小時(shí),氣體被壓縮,當(dāng)壓力達(dá)到一定值時(shí),頂開排氣閥,將氣體排出泵外真空度、溫度及滲漏除前文提及的電機(jī)過熱原因外,還包括：?
泵腔過熱：處理高溫氣體（如化業(yè)的裂解氣、半導(dǎo)體行業(yè)的高溫工藝尾氣）時(shí),若冷卻系統(tǒng)無法及時(shí)帶走熱量,會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高；轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦（如間隙過?。?huì)產(chǎn)生大量摩擦熱,也會(huì)使泵腔溫度上升情況，日常定期保養(yǎng)可隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,干泵的性能也在不斷提升,不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標(biāo)上逐步接近甚至傳統(tǒng)油式真空泵,而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善,成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一降低故障概率。

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