物理回收法（適用于金屬靶材）
真空熔煉：將屬靶材廢渣（如銅、鈦）在真空爐中（壓強 < 1Pa，溫度 1200-1600℃）熔煉，去除易揮發(fā)雜質（如鋅），直接澆鑄為新靶材坯料，純度保持 99.9% 以上。
粉末冶金：靶材碎屑經(jīng)氫化 - 脫氫處理（HDH 工藝）制成金屬粉末，再通過壓制 - 燒結（如放電等離子燒結 SPS）制成靶材，適用于鈦、鋯等活性金屬。

提純與再利用
金屬單質提純
電解精煉：如粗銅通過電解得到高純銅（純度達 99.99%），用于重新配制電鍍液。
金屬化合物制備
凈化后的金屬鹽溶液經(jīng)結晶、干燥后，制成電鍍級化學品（如氯化鎳、鉻酸酐），直接回用于電鍍生產(chǎn)線。
建材或填料利用
對提取金屬后的殘渣（如二氧化硅、金屬氧化物），可用于生產(chǎn)水泥、陶瓷填料或路基材料，但需確保重金屬浸出濃度符合《危險廢物填埋污染控制標準》。

金屬資源回收潛力
貴金屬：電子電鍍廢渣中的金、銀含量可達 100-500g/t，遠超原生礦品位（如金礦邊界品位約 1g/t）。
工業(yè)金屬：含鎳廢渣中鎳含量可達 3%-10%，含銅廢渣銅含量 5%-20%，可直接提煉為再生金屬原料。


廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設備維護：真空腔體內殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

電鍍廢渣，是一種常見的工業(yè)廢料，由于其含有大量有害物質，對環(huán)境造成嚴重污染。然而，電鍍廢渣也是一種潛在的寶藏，其中蘊含著許多稀有金屬和有價值的資源。因此，有效回收電鍍廢渣不僅可以減少環(huán)境污染，還可以提高資源利用率，創(chuàng)造經(jīng)濟效益。

電鍍廢渣中含有大量的重金屬和有機物，例如鉻、鎳、銅等。這些物質在處理過程中容易溶解，進入水源和土壤中，對生態(tài)環(huán)境造成嚴重的污染。特別是在排放到水體中后，這些有害物質會對水生生物產(chǎn)生毒性影響，破壞水生態(tài)系統(tǒng)的平衡。

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