物理回收法(適用于金屬靶材)
真空熔煉:將屬靶材廢渣(如銅、鈦)在真空爐中(壓強 < 1Pa,溫度 1200-1600℃)熔煉,去除易揮發(fā)雜質(zhì)(如鋅),直接澆鑄為新靶材坯料,純度保持 99.9% 以上。
粉末冶金:靶材碎屑經(jīng)氫化 - 脫氫處理(HDH 工藝)制成金屬粉末,再通過壓制 - 燒結(jié)(如放電等離子燒結(jié) SPS)制成靶材,適用于鈦、鋯等活性金屬。
廢渣主要來源
靶材損耗:濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末(如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等);
設(shè)備維護:真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料;
工藝副產(chǎn)物:反應(yīng)氣體(如 N?、Ar、CH?)與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物(如碳化物、氮化物);
廢氣處理殘渣:尾氣凈化裝置(如活性炭吸附、過濾器)捕獲的金屬粉塵。
電鍍廢渣,是一種常見的工業(yè)廢料,由于其含有大量有害物質(zhì),對環(huán)境造成嚴重污染。然而,電鍍廢渣也是一種潛在的寶藏,其中蘊含著許多稀有金屬和有價值的資源。因此,有效回收電鍍廢渣不僅可以減少環(huán)境污染,還可以提高資源利用率,創(chuàng)造經(jīng)濟效益。
電鍍廢渣中含有大量的稀有金屬和有價值的資源,如金、銀、銅等。這些資源具有重要的經(jīng)濟價值,但由于電鍍廢渣的特殊性,這些寶貴的資源往往被忽視,直接被丟棄或者未經(jīng)充分回收利用。通過電鍍廢渣的回收,可以有效提高資源利用率,降低資源浪費。
廢料預(yù)處理
1. 廢料分類與收集
來源區(qū)分:明確廢料類型(如電子廢料、電鍍廢渣、催化劑、首飾廢料、化工廢料等),不同來源的廢料貴金屬含量和雜質(zhì)成分差異顯著。
物理分揀:通過人工或機械手段剔除廢料中的非金屬雜質(zhì)(如塑料、陶瓷、玻璃、木材等),例如電子廢料中的線路板、芯片需與外殼分離。
2. 破碎與細化
對塊狀、固態(tài)廢料(如廢舊金屬器件、合金廢料)進行破碎、研磨,使其粒徑減小至便于后續(xù)處理的程度(如粉末狀),提高后續(xù)反應(yīng)的接觸面積。
環(huán)保處理
回收過程中產(chǎn)生的廢液(如含酸、含氰、含重金屬離子)需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理,達到環(huán)保排放標準后排放。
固體廢料(如浸出后的殘渣)若仍含微量貴金屬或有害成分,需進一步安全處置(如固化、填埋)或二次回收。
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