對于10000級和100000級潔凈廠房，預(yù)過濾器可選取用F8過濾器（比色法95%，這樣，未端過濾器的使用壽命一般可達5年。在國外項目中和國內(nèi)新建項目中，F(xiàn)8過濾器是紊流潔凈室常見的預(yù)過濾器。對于芯片廠100級、10級或更別的潔凈廠房，預(yù)過濾器的常見效率級別為G10（MPPS85%），許多新建項目索性選用HEPA（對0.3μm粒子的效率≥在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計中，過濾器的常見配置為：粗效＋中效＋。那時未端過濾器的使用壽命僅為1-3年，差的也就幾個月。

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