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利用激發(fā)光源發(fā)出的特征發(fā)射光照射一定濃度的待測元素的原子蒸氣,使之產生原子熒光,在一定條件下,熒光強度與被測溶液中待測元素的濃度關系遵循Lambert-Beer定律,通過測定熒光的強度即可求出待測樣品中該元素的含量。原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射兩種分析方法的優(yōu)勢,并且克服了這兩種方法在某些地方的不足。該法的優(yōu)點是靈敏度高,目前已有20多種元素的檢出限優(yōu)于原子吸收光譜法和原子發(fā)射光譜法;譜線簡單;在低濃度時校準曲線的線性范圍寬達3~5個數(shù)量級,特別是用激光做激發(fā)光源時更佳,但其存在熒光淬滅效應,散射光干擾等問題。