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聚對(duì)二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對(duì)二甲苯)、Parylene C(聚一氯對(duì)二)和 Parylene D(聚二氯對(duì)二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。
在MEMS應(yīng)用中，聚對(duì)苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對(duì)二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護(hù)層、保護(hù)層和密封層是十分理想的。聚對(duì)二甲苯已用來(lái)做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來(lái)調(diào)控聚對(duì)二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測(cè)聚對(duì)二甲苯厚度的器與末端探測(cè)器已經(jīng)研制出來(lái)。
聚對(duì)二甲苯是一種具有性能的敷形涂層材料，問(wèn)世后在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C允許作為印刷電路板的敷形涂層材料，涂層厚度為0.0005-0.002英寸。
作為電子電路的防護(hù)涂層，Parylene不需另加防霉劑，本身防霉能達(dá)零級(jí)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中，與其它涂層相比，Parylene防護(hù)的電路電阻幾乎不下降，其它涂層則都有較大的下降。很薄的Parylene涂層能提供的防護(hù)性能，還有利于電路板工作熱量的消散，因此作為防護(hù)涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性，特別是小型高密集度電子電路的防護(hù)，聚對(duì)二甲苯更顯示出其到的優(yōu)勢(shì)。
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