分子泵維修常見問(wèn)題及故障原因分析:

1.真空度正常,分子泵可以達(dá)到全速,但是噪音大

故障原因:前級(jí)泵問(wèn)題,系統(tǒng)漏氣,軸承問(wèn)題,轉(zhuǎn)速限定

建議: 分子泵運(yùn)行過(guò)3年,可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損,建議送修檢測(cè),如果放任不管,后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子,對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷;

2.油棉污染:油棉變黑.發(fā)黃

建議: 3-4年更換分子泵油棉.Pfeiffer復(fù)合軸承分子泵內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤(rùn)滑方式,可以給軸承降溫,減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承,避免污染物附著在軸承上面,能延長(zhǎng)分子泵的使用壽命.

3.分子泵無(wú)法啟動(dòng):用手撥動(dòng)葉片,葉片無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng)

建議:轉(zhuǎn)子已完全卡住,建議立刻送修

4.分子泵異響:

故障原因:異物進(jìn)入,陶瓷軸承磨損或損壞,轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡問(wèn)題,前級(jí)泵返油;工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時(shí)，會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成很大損害

建議: 立即停機(jī)送修檢測(cè)

5.分子泵無(wú)法達(dá)到全速,真空度抽不下去

建議:請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常,如果是分子泵組,請(qǐng)先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下,無(wú)法解決問(wèn)題建議立即送修檢測(cè)

6.分子泵返油: 多數(shù)是由于前級(jí)泵返油導(dǎo)致,建議立即送修檢測(cè)

7.無(wú)法啟動(dòng):沒(méi)有供電,控制器沒(méi)有響應(yīng),沒(méi)有收到啟動(dòng)信號(hào),轉(zhuǎn)子卡住或軸承損壞

8.常見分子泵控制器維修故障代碼

Err 006: 啟動(dòng)時(shí)間設(shè)定太短,系統(tǒng)漏氣或放氣閥打開,前級(jí)泵真空度問(wèn)題

Err 021 / Err 108:控制器問(wèn)題

Err 117:控制器問(wèn)題,散熱問(wèn)題,系統(tǒng)漏氣