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滾旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)等離子體表面處理儀

更新時間:2023-07-17 [舉報(bào)]
二、半導(dǎo)體清洗 光刻膠清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn):

1.全自動控制使用方便,更長的制程執(zhí)行時間

2.操作簡易和靈活標(biāo)準(zhǔn)的平臺安裝

3.快速實(shí)現(xiàn)客戶定制率——低發(fā)熱量

4.使用簡易,節(jié)省成本多功能前面板

5.、快速的服務(wù)和支持直觀的液晶顯示操作菜單

6.高純石英腔體減少樣品污染可定時功能,時間更

7.射頻屏蔽安全可靠*緊急停止,應(yīng)對各種突發(fā)情況

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三、智能控制滾筒等離子清洗機(jī)KT-G1DQX技術(shù)參數(shù):



供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

Φ100mmX200mm

旋轉(zhuǎn)速度

20轉(zhuǎn)/分鐘

氣體流量

0—300ml/min

過程控制

手動控制

清洗時間

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。
標(biāo)簽:滾旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)半導(dǎo)體清洗
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
  • 邱迎迎
  • 河南鄭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
  • 15136134901

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