拋光樹脂是由高度純化、轉(zhuǎn)型的H型陽樹脂和OH型陰樹脂混合而成,如果裝填和操作得當(dāng),在初的周期中即可制備出電阻率大于18.0MΩ·cm和TOC小于10ppb的超純水,無需化學(xué)再生。

所有與樹脂接觸的水都使用高純水(所涉及到的水均指“高純水”,即電阻率大于等于10MΩ·cm,同時(shí)TOC盡可能低于30ppb的水),所有接觸樹脂的設(shè)備或器具都要在使用前經(jīng)過高純水清洗。

當(dāng)使用FRP桶作為樹脂罐時(shí),應(yīng)先將集水管留置于桶中再裝填樹脂(裝填過程中集水管上口適當(dāng)封堵以免混入樹脂),在裝填樹脂過程中應(yīng)適時(shí)的調(diào)整集水管的位置以使后能正常安裝上蓋。同時(shí)采用FRP桶作為樹脂罐時(shí),如感覺上口口徑較小不好裝填時(shí),可以使用漏斗式容器輔助裝填。