傳統(tǒng)釬焊料熔點低、導(dǎo)熱性差,難以滿足高功率器件封裝及其高溫應(yīng)用要求。此外隨著第三代半導(dǎo)體器件(如碳化硅和氮化鎵等)的快速發(fā)展,對封裝的性能方面提出了更為嚴(yán)苛的要求。AS9385有壓銀燒結(jié)技術(shù)是一種新型的高可靠性連接技術(shù),在功率模塊封裝中的應(yīng)用受到越來越多的關(guān)注。
有壓銀燒結(jié)AS9385是一種新型的高可靠芯片粘接和鍵合技術(shù),可確保無空隙和高強(qiáng)度鍵合,并具有的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性。 該技術(shù)可以將器件的結(jié)溫 (Tj) 低降至150℃。
SHAREX的AS9385銀燒結(jié)技術(shù)也被成為低溫連接技術(shù)(Low temperature joining technique,LTJT),作為一種新型無鉛化芯片互連技術(shù),AS9385燒結(jié)銀可在低溫(<250℃)條件下獲得耐高溫(>700℃)和高導(dǎo)熱率(~240 W/m·K)的燒結(jié)銀芯片連接界面,具有以下幾方面優(yōu)勢:
①燒結(jié)連接層成分為銀,具有的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能;②由于銀的熔點高達(dá)(961℃),將不會產(chǎn)生熔點小于300℃的軟釬焊連接層中出現(xiàn)的典型疲勞效應(yīng),具有的可靠性;
③AS9385所用納米銀材料具有和傳統(tǒng)軟釬焊料相近的燒結(jié)溫度;④燒結(jié)材料不含鉛,屬于環(huán)境友好型材料,并且避免清洗的過程,節(jié)省了時間,降低了成本。
2.銀燒結(jié)技術(shù)原理
AS9385銀燒結(jié)技術(shù)是一種對微米級及以下的銀顆粒在250℃以下進(jìn)行燒結(jié),通過原子間的擴(kuò)散從而實現(xiàn)良好連接的技術(shù)。所用的燒結(jié)材料的基本成分是銀顆粒,根據(jù)狀態(tài)不同,燒結(jié)材料一般為燒結(jié)銀膏工藝為:AS9385燒結(jié)銀膏印刷印刷——預(yù)熱烘烤——芯片貼片——加壓燒結(jié);