元素硅是一種灰色、易碎、四價的非金屬化學元素。地殼成分中27.8%是硅元素構成的,僅次于氧元素含量排行第二,硅是自然界中比較富的元素。在石英、瑪瑙、隧石和普通的灘石中就可以發(fā)現硅元素。硅晶片又稱晶圓片,是由硅錠加工而成的,通過的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管,被廣泛應用于集成電路的制造。
通過設置設備箱體、卡匣定位結構、檢測機構和推料機構,使得在晶圓片傳送時能夠通過卡匣定位結構對卡匣進行定位,然后再通過檢測機構檢測卡匣內晶圓片的位置,避免晶圓片錯位,后通過推料機構實現卡匣的傳送,整個傳送過程簡單、易操作,實現自動化傳片,且能夠對晶圓片進行檢測避免晶圓片錯位造成傳片損壞。
為了保護晶圓在切割過程中免受外部損傷,事先會在晶圓上貼敷膠膜,以便更安全的“切單”。“背面減薄”過程中,膠膜會貼在晶圓的正面。但與此相反,在“刀片”切割中,膠膜要貼在晶圓的背面。而在共晶貼片,把分離的芯片固定在PCB或定架上過程中,貼會背面的這一膠膜會自動脫落。切割時由于摩擦很大,所以要從各個方向連續(xù)噴灑DI水(去離子水)。而且,葉輪要附有金剛石顆粒,這樣才可以更好地切片。此時,切口(刀片厚度:凹槽的寬度)均勻,不得超過劃片槽的寬度。
很長一段時間,鋸切一直是被廣泛使用的傳統的切割方法,其大的優(yōu)點就是可以在短時間內切割大量的晶圓。然而,如果切片速度大幅提高,小芯片邊緣剝落的可能性就會變大。因此,應將葉輪的旋轉次數控制在每分鐘30000次左右。
在切片或任何其它磨削過程中,在不超出可接受的切削質量參數時,新一代的切片系統可以自動監(jiān)測施加在刀片上的負載,或扭矩。對于每一套工藝參數,都有一個切片質量下降和BSC出現的極限扭矩值。切削質量與刀片基板相互作用力的相互關系,和其變量的測量使得可以決定工藝偏差和損傷的形成。工藝參數可以實時調整,使得不超過招矩極限和獲得大的進給速度。
以穩(wěn)定的扭矩運轉的系統要求進給率、心軸速度和冷卻劑流量的穩(wěn)定。冷卻劑在刀片上施加阻力,它造成扭力。新一代的切片系統通過控制冷卻劑流量來保持穩(wěn)定的流速和阻力,從而保持冷卻劑扭矩影響穩(wěn)定。當切片機有穩(wěn)定的冷卻劑流量和所有其它參數都受控制時,維持一個穩(wěn)定的扭矩。如果記錄,從穩(wěn)定扭矩的任何偏離都是由于不受控的因素。這些包括由于噴嘴堵塞的冷卻劑流量變化、噴嘴調整的變化、刀片對刀片的變化、刀片情況和操作員錯誤。