Gemini 2 型電子光學(xué)鏡筒讓 GeminiSEM 460 成為高束流下獲取高分辨率成像和快速 分析的理想之選。另外,它還集上一代 Gemini 光學(xué)系統(tǒng)的所有優(yōu)勢(shì)于一身。例如, 確保了大視野范圍內(nèi)的無畸變 EBSD 分析和 高分辨率成像的物鏡無漏磁設(shè)計(jì)。
因此您也能夠在不影響電子光學(xué)性能的前 提下傾斜樣品, 甚至還能輕松完成磁性樣 品成像。
Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計(jì),它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達(dá)到高分 辨率。它由兩個(gè)協(xié)同工作的組件組成,即 Nano-twin 物鏡和智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個(gè)全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢(shì)也可以為您提供良好的圖像襯度,讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布, 獲得出色的信號(hào) 探測(cè)效率, 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級(jí)分辨率。具體來說, 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比,它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場(chǎng)降低了 3 倍, 約 為 1mT ,并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像, 而無需將樣品浸沒在電磁場(chǎng)中。
分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下, 電子束色差降低, 從而實(shí)現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下, 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進(jìn)一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測(cè)器的檢 測(cè)效率。
維修、維護(hù)及優(yōu)化
確保顯微鏡的正常工作時(shí)間。蔡司的維保服務(wù)協(xié)議可讓您的運(yùn)行成本更經(jīng)濟(jì),避免因停機(jī)而 造成的損失,并通過提升系統(tǒng)性能達(dá)到理想的工作狀態(tài)。維保服務(wù)協(xié)議可為您提供一系列的 可選服務(wù)種類以及不同級(jí)別的服務(wù)。在選擇維保服務(wù)方案上我們會(huì)給予全力支持,以求滿足 您的系統(tǒng)需求與使用要求,同時(shí)遵守您單位的規(guī)定。
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