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為了使拖板92更平穩(wěn)地升降，所述立柱10和拖板92之間還設(shè)置有用于導向拖板92的升降的導向裝置，所述導向裝置包括設(shè)置在立柱10上的導軌101和設(shè)置在拖板92上的滑塊，所述拖板92通過滑塊與導軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述升降絲桿91的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內(nèi)的零部件，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機111、旋轉(zhuǎn)絲桿112、旋轉(zhuǎn)套113和固定座114，所述旋轉(zhuǎn)套113鉸接在拖板92上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)電機111安裝在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的一端部和旋轉(zhuǎn)電機111的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的另一端部和旋轉(zhuǎn)套113通過螺紋連接，所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上，以便通過旋轉(zhuǎn)電機111驅(qū)動旋轉(zhuǎn)絲桿112在旋轉(zhuǎn)套113內(nèi)旋進旋出，使得固定座114產(chǎn)生位移，并使固定座114帶動加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)。具體地，為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。

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進一步為了避免下驅(qū)動裝置受到外界震動的影響，進而保下驅(qū)動裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動裝置之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動裝置的底端設(shè)置有承載板，所述承載板通過少兩個螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對應的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅(qū)動裝置受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎佑绊懙匠休d板。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；當不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7，進而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。