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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。

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美國國外以美國KAYEX為代表，生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進(jìn)的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場，已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計算機(jī)實(shí)行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動裝置上，以便在不繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過電機(jī)驅(qū)動絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動，并通過所述連接塊帶動外部化料器升降。