這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風有相當難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應用場合偏置電壓很難滿足。

　　電容式、晶體以及碳質麥克風都產生一個與敏感膜位移成正比的電壓信號，而動態(tài)麥克風則產生一個與敏感膜的振動的振動速率成正比的電壓信號。動態(tài)麥克風采用永磁體為能量源，基于電感效應將聲能轉換為電能，大多數(shù)麥克風都是駐極體電容器麥克風（ECM），這種技術已經有幾十年的歷史。

　　大多數(shù)麥克風都是駐極體電容器麥克風，其的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜麥克風根據其換能原理可劃分為電動麥克風和電容麥克風兩種。其中電動類又可細分為動圈麥克風和鋁帶麥克風[2]。常見的商用麥克風類型有電容式麥克風、晶體麥克風碳質麥克風以及動態(tài)麥克風。