根據(jù)GB/T 12022 2014《工業(yè)六氟化硫》標(biāo)準(zhǔn)，六氟化硫雜質(zhì)分析的檢測范圍主要包括以下內(nèi)容： 

1.    空氣   

2. 2.   四氟化碳（CF?）   

3. 3.   六氟乙 （C?F?）   檢測這些雜質(zhì)的方法通常采用帶有火焰離子化檢測器（FID）的氣相色譜儀。標(biāo)準(zhǔn)還要求載氣的純度不低于99.99%（體積分?jǐn)?shù)），且對六氟化硫中空氣和四氟化碳的檢測限不大于10×10??（體積分?jǐn)?shù)）。 此外，相關(guān)技術(shù)改進(jìn)（如專利CN102879492A）進(jìn)一步提升了檢測靈敏度，能夠?qū)⒎茧s質(zhì)的定量限降低至0.02 ppm（V/V），含硫雜質(zhì)的定量限降低至0.05 ppm（V/V）。