商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速 (5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的,不需要其他電子材料,不會有波動; (6)在真空中無任何運動部件,高穩(wěn)定性,也不會帶來密封問題; (7)低溫泵的安裝無任何方向要求; (8)低溫泵還可以進行選擇性的抽取某種氣體。
吸附材料對低溫泵的工作性能具有較大的影響。單從真空獲得方面來說,一臺無任何吸附劑的低溫泵或許也可以滿足要求。但是,一般情況下低溫泵是依靠液氦或制冷機而獲得低溫的,其溫度能達到4 K。而此時又需要低溫泵抽除氦氣,因為真空檢漏會經(jīng)常用到氦氣。
對吸附材料進行表征的物理量主要有:幾何形狀和顆粒大小分布;表面結構;密度;比表面積;孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進行的。