充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)主要運(yùn)用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時(shí)可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進(jìn)行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速，因?yàn)?在更改成像參數(shù)后無需進(jìn)行校準(zhǔn)，而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場及磁場分布， 獲得出色的信號 探測效率， 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級分辨率。具體來說， 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像， 而無需將樣品浸沒在電磁場中。

智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合，新的智能自動(dòng)光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點(diǎn)：
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會(huì)聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

維修、維護(hù)及優(yōu)化
確保顯微鏡的正常工作時(shí)間。蔡司的維保服務(wù)協(xié)議可讓您的運(yùn)行成本更經(jīng)濟(jì)，避免因停機(jī)而 造成的損失，并通過提升系統(tǒng)性能達(dá)到理想的工作狀態(tài)。維保服務(wù)協(xié)議可為您提供一系列的 可選服務(wù)種類以及不同級別的服務(wù)。在選擇維保服務(wù)方案上我們會(huì)給予全力支持，以求滿足 您的系統(tǒng)需求與使用要求，同時(shí)遵守您單位的規(guī)定。

專為日常檢測和分析應(yīng)用而設(shè)計(jì)，蔡司 EVO 擁有的操作 設(shè)計(jì)理念，無論是經(jīng)驗(yàn)豐富的顯微技術(shù)人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師，均可輕松上手。它能夠提供出色 的數(shù)據(jù)，特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導(dǎo)電層的非
導(dǎo)電零部件。

成像靈活.光學(xué)顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實(shí)現(xiàn)反射光和透射光的觀察, 同時(shí)也可進(jìn) 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實(shí)現(xiàn)樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進(jìn)—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設(shè)置時(shí)間, 提 高獲得結(jié)果的效率。