聚四氟乙烯，英文縮寫為PTFE，俗稱"塑料王"，、是一種使用了氟取代聚乙烯中所有氫原子的人工合成高分子材料。一般稱作“不粘涂層”或“易清潔物料”。這種材料具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn)，幾乎不溶于所有的溶劑。同時(shí)，聚四氟乙烯具有耐高溫的特點(diǎn)，它的摩擦系數(shù)極低，所以可作潤(rùn)滑作用之余，亦成為了易清潔水管內(nèi)層的理想涂料。

白色、無(wú)臭、無(wú)味、的粉狀物，俗稱“塑料王”。具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、密封性、高潤(rùn)滑不粘性、電絕緣性和良好的耐力。耐高溫，使用工作溫度達(dá)250℃。耐低溫，低溫下具有良好的機(jī)械韌性，即使溫度下降到－196℃，也可保持5%的伸長(zhǎng)率。耐腐蝕，對(duì)大多數(shù)化學(xué)藥品和溶劑表現(xiàn)出惰性，能耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿、水和各種有機(jī)溶劑。耐候性好，有塑料中佳的老化壽命。高潤(rùn)滑，是固體材料中摩擦系數(shù)低者。不黏附，是固體材料中表面張力小者，不黏附任何物質(zhì)。

耐高溫、耐腐蝕，具有優(yōu)良的電絕緣性、耐老化，吸水性小、自潤(rùn)滑性能，是一種適用于各種介質(zhì)的通用型潤(rùn)滑性粉末，可快速涂抹形成干膜，以用作石墨、鉬和其他無(wú)機(jī)潤(rùn)滑劑的代用品。適用于熱塑性和熱固性聚合物的脫模劑，承載能力優(yōu)良。在彈性體和橡膠工業(yè)以及防腐中廣泛使用。

優(yōu)點(diǎn)
1.外觀純白色。

2.耐高低溫性：可使用溫度-200℃～＋250℃。

3.耐腐蝕：耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水和各種有機(jī)溶劑，且無(wú)溶出、吸附和析出現(xiàn)象。

4.防污染：金屬元素空白值低。

5.絕緣性：不受環(huán)境及頻率的影響，介質(zhì)損耗小，擊穿電壓高。

6.耐大氣老化，耐輻照和較低的滲透性。

7.自潤(rùn)滑性：具有塑料中小的摩擦系數(shù)。

8.表面不粘性：是一種表面能小的固體材料。

半導(dǎo)體IC制程主要以20世紀(jì)50年代以后發(fā)明的四項(xiàng)基礎(chǔ)工藝（離子注入、擴(kuò)散、外延生長(zhǎng)及光刻）為基礎(chǔ)逐漸發(fā)展起來(lái)，由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當(dāng)微細(xì)，因此制造過(guò)程中，如果遭到塵粒、金屬的污染，很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞，形成短路或斷路等，導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過(guò)程中除了要排除外界的污染源外，集成電路制造步驟如高溫?cái)U(kuò)散、離子植入前等均需要進(jìn)行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下，有效地使用化學(xué)溶液或氣體清除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機(jī)物之雜質(zhì)。

大直徑晶片的清洗采用上述方法不好其清洗過(guò)程的完成，通常采用單晶片清洗法，其清洗過(guò)程是在室溫下重復(fù)利用DI-O 3/DHF清洗液，臭氧化的DI水（DI-O3 ）產(chǎn)生氧化硅，稀釋的HF蝕刻氧化硅，同時(shí)清除顆粒和金屬污染物。根據(jù)蝕刻和氧化的要求采用較短的噴淋時(shí)間就可獲得好的清洗效果，不會(huì)發(fā)生交叉污染。后沖洗不是采用DI水就是采用臭氧化DI水。為了避免水漬，采用濃縮大量氮?dú)獾漠惐掖迹↖PA）進(jìn)行干燥處理。單晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果，清洗過(guò)程中通過(guò)采用DI水及HF的再循環(huán)利用，降低化學(xué)品的消耗量，提高晶片成本效益。