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利用激發(fā)光源發(fā)出的特征發(fā)射光照射一定濃度的待測(cè)元素的原子蒸氣，使之產(chǎn)生原子熒光，在一定條件下，熒光強(qiáng)度與被測(cè)溶液中待測(cè)元素的濃度關(guān)系遵循Lambert-Beer定律，通過測(cè)定熒光的強(qiáng)度即可求出待測(cè)樣品中該元素的含量。原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射兩種分析方法的優(yōu)勢(shì)，并且克服了這兩種方法在某些地方的不足。該法的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，目前已有20多種元素的檢出限優(yōu)于原子吸收光譜法和原子發(fā)射光譜法；譜線簡單；在低濃度時(shí)校準(zhǔn)曲線的線性范圍寬達(dá)3~5個(gè)數(shù)量級(jí)，特別是用激光做激發(fā)光源時(shí)更佳，但其存在熒光淬滅效應(yīng)，散射光干擾等問題。