EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能夠準(zhǔn)確地檢測材料表面的元素種類和含量。通過分析元素分布情況，可以識別化學(xué)腐蝕、應(yīng)力腐蝕開裂等化學(xué)或物理作用導(dǎo)致的失效，進一步確定失效機制。

SEM+EDS可以用于研究環(huán)境污染物質(zhì)對生物體（如魚類、昆蟲等）的毒害作用及其機制。通過觀察生物體在不同污染環(huán)境下的形貌變化和元素分布情況，可以深入探究環(huán)境污染物質(zhì)對生物體的毒害作用及其與環(huán)境因素的相互作用。

故障分析：對于飛機或其他航空器出現(xiàn)的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，當(dāng)飛機出現(xiàn)腐蝕、疲勞或機械損傷等問題時，SEM可以觀察到這些缺陷的微觀形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素組成。這有助于確定故障的源頭和原因。