通常來說,對于小芯片減薄劃片時使用UV膜,對于大芯片減薄劃片時使用藍(lán)膜,因為,UV膜的粘性可以使用紫外線的照射時間和強度來控制,防止芯片在抓取的過程中漏抓或者抓崩。若芯片在減薄劃切實之后,直接上倒封裝標(biāo)簽生產(chǎn)線,那么好使用UV膜,因為倒封裝生產(chǎn)線的芯片一般比較小,而且設(shè)備的頂針在藍(lán)膜底部將芯片頂起。如果使用較大粘性剝離度的藍(lán)膜,可能使得頂針在頂起芯片的過程中將芯片頂碎。
UV膜與藍(lán)膜相比,它的粘性剝離度可變性使得其性很大,主要作用為:用于wafer減薄過程中對wafer進(jìn)行固定;water劃切過程中,用于保護(hù)芯片,防止其脫落或崩邊,用于wafer的翻轉(zhuǎn)和運輸,防止已經(jīng)劃好的芯片發(fā)生脫落。規(guī)范化使用UV膜和藍(lán)膜的各個參數(shù),根據(jù)芯片所需要的加工工藝,選擇合適的UV膜或者藍(lán)膜,即可以節(jié)省成本,又可以加進(jìn)芯片產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
在芯片的分割期間,刀片碾碎基礎(chǔ)材料(晶圓),同時去掉所產(chǎn)生的碎片。材料的去掉沿著晶方(dice)的有源區(qū)域之間的切割線(跡道)發(fā)生的。冷卻劑(通常是去離子水)指到切割縫內(nèi),改善切割品質(zhì),和通過幫助去掉碎片而延長刀片壽命。每條跡道(street)的寬度(切口)與刀片的厚度成比例。