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煙臺生產(chǎn)晶圓理片器槽口對準(zhǔn)器

更新時間:2025-10-04 [舉報]

除了尺寸,三個關(guān)鍵參數(shù)決定刀片特性:金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結(jié)劑的類型。結(jié)合物是各種金屬和/或其中分布有金剛石磨料的基體。這些元素的結(jié)合效果決定刀片的壽命和切削質(zhì)量(TSC與BSC)。改變?nèi)魏我粋€這些參數(shù)都將直接影響刀片特性與性能。為一個給定的切片工藝選擇佳的刀片可能要求在刀片壽命與切削質(zhì)量之間作出平衡。

切割參數(shù)對材料清除率有直接關(guān)系,它反過來影響刀片的性能和工藝效率。對于一個工藝為了優(yōu)化刀片,設(shè)計試驗方法(DOE, designed experiment)可減少所需試驗的次數(shù),并提供刀片特性與工藝參數(shù)的結(jié)合效果。另外,設(shè)計試驗方法(DOE)的統(tǒng)計分析使得可以對有用信息的推斷,以建議達(dá)到甚至更高產(chǎn)出和/或更低資產(chǎn)擁有成本的進(jìn)一步工藝優(yōu)化。

在切片或任何其它磨削過程中,在不超出可接受的切削質(zhì)量參數(shù)時,新一代的切片系統(tǒng)可以自動監(jiān)測施加在刀片上的負(fù)載,或扭矩。對于每一套工藝參數(shù),都有一個切片質(zhì)量下降和BSC出現(xiàn)的極限扭矩值。切削質(zhì)量與刀片基板相互作用力的相互關(guān)系,和其變量的測量使得可以決定工藝偏差和損傷的形成。工藝參數(shù)可以實時調(diào)整,使得不超過扭矩極限和獲得大的進(jìn)給速度。

標(biāo)簽:生產(chǎn)晶圓理片器晶圓理片器槽口對準(zhǔn)器
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