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美國光刻膠Microchem正性電子束光刻膠950PMMA耐刻蝕性好

更新時間:2025-10-02 [舉報]

廈門光刻膠    美國光刻膠



    • 在干法刻蝕中,950PMMA與SiO2的刻蝕選擇比約為?1:1?,表明其對等離子體刻蝕的耐受性中等

    • 相比普通PMMA光刻膠,950系列通過配方優(yōu)化提升了抗刻蝕性,可耐受部分濕法刻蝕工藝(如金屬剝離)

          顯影液推薦?MIBK混合溶液?,顯影時間通常為20-60秒,后烘條件建議90-120℃熱板烘烤1-2分鐘



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