探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過(guò)與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺(tái)配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
探針的要求
(1)質(zhì)量問(wèn)題:在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問(wèn)題:在探針的制作過(guò)程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
化學(xué)處理是提取金屬價(jià)值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來(lái)。