關(guān)鍵特性
高純度:靶材廢渣中的金屬雜質(zhì)含量通常 < 0.1%,適合直接再生為靶材原料。
低毒性:不含傳統(tǒng)電鍍中的六價(jià)鉻、氰化物,但陶瓷靶材(如 ITO)中的銦屬于重金屬,需防泄漏。
物理形態(tài)多樣:包括粉末(靶材磨損)、塊狀(報(bào)廢部件)、薄膜(沉積殘余物),需針對(duì)性處理。
廢渣分類(lèi)與收集
源頭分類(lèi)
根據(jù)電鍍工藝(如鍍鉻、鍍銅、鍍鋅等)和廢渣形態(tài)(污泥、濾渣、殘?jiān)龋┓诸?lèi)收集,避免不同成分混雜增加處理難度。
舉例:含鉻廢渣(六價(jià)鉻毒性高)與含鎳廢渣需分開(kāi)收集,防止后續(xù)處理時(shí)交叉污染。
密封存儲(chǔ)
采用防滲漏容器或倉(cāng)庫(kù)存儲(chǔ),避免雨水沖刷導(dǎo)致重金屬流失污染土壤或地下水。
環(huán)保處理
回收過(guò)程中產(chǎn)生的廢液(如含酸、含氰、含重金屬離子)需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理,達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
固體廢料(如浸出后的殘?jiān)┤羧院⒘抠F金屬或有害成分,需進(jìn)一步安全處置(如固化、填埋)或二次回收。